人工合成石墨
經 3000°C 極限石墨化製程淬煉。專為半導體與真空設備量身打造，具備極致純淨度、高熱傳導及抗化學腐蝕之物理特性，是精密工業製程中的關鍵核心材料。
高純度規格
Purity 99.9%
最高製程溫度
3,000°C Graphite
核心機能性
超高導電與導熱率
精密材料特性優勢
01 極限環境穩定性
經由高溫焦炭石墨化處理，結構極其穩定，在高溫真空狀態下能維持極低氣體釋放量，確保生產環境不被碳雜質污染。
02 卓越熱場管理
具備優異的熱傳導性能與均熱性，能承受極大的熱衝擊而不龜裂，是半導體加熱座與爐管治具的最佳材料方案。
03 精密加工相容性
雖然材料硬度高，但具備良好的切削加工特性，能因應客戶圖面需求進行精密微孔、薄板或複雜溝槽之零件開發。
高階領域應用矩陣
為次世代科技提供全方位的碳素材料支援
半導體製程治具
晶圓加熱座 (Susceptor)、外延生長爐零件、真空環境高純度載具。
真空高溫設備
真空爐組件、高溫遮蔽板、熱場結構件、高溫環境墊片與襯裡。
電能與能源技術
燃料電池雙極板、鋰電池負極材料研發試作、高效導電端子組件。
特殊機械與密封
高純度精密密封環、機械旋轉接頭組件、極端化學腐蝕環境結構件。